我想问等离子体产生原理是什么？

李

等离子体是气体分子在真空,放电等特殊场合下产生的独特现象和物质.典型的等离子的组成是，电子,离子,自由基和质子.就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量.一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子,离子和自由粒子)混合组成.离子体能够导电，和电磁力起反应.

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吴

等离子体是气体分子在真空,放电等特殊场合下产生的独特现象和物质.典型的等离子的组成是，电子,离子,自由基和质子.就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量.一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子,离子和自由粒子)混合组成.离子体能够导电，和电磁力起反应.
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理.辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度,材料类型等因素有关.
等离子体有一些显著的特征：
1) 气体产生辉光现象，常称为"辉光放电".由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响.
2)气体中包含中性粒子,离子和电子.由于中性粒子和离子温度介于102-103K，电子能量对应的温度高达105K，它们被称为"非平衡等离子体"或"冷等离子体".但是它们却表现出电中性(准中性).
3) 气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应.等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键;但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能
等离子体可以通过直流或高频交流电场产生.当采用交流时，只能选用电信规定的科研及工业用频段(中频(MF)40KHz,高频(HF)13.56MHz,微波频率(MW)2.45GHz)，否则会干扰无线电通信.

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吴女士

利用激发光源产生的能量作用于样品，当某一能量施加到一个原子上，一些电子就改变其轨道，当这些电子返回到原来的轨道时，以一定波长的光形式恢复到原来的状态.因而，一个含有几种不同元素的样品将产生有每种元素特定的波长组成的光，通过用一色散系统将这些波长分开，我们就能测定存在哪一种元素和这些波长中每一种波长的强度，这些强度和相应的元素的浓度成一定的函数关系.同时利用电子接收系统测量这种发光强度，再用计算机处理这些信息，这样就可以测出相关元素的浓度.

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陈经理

等离子体是气体分子在真空,放电等特殊场合下产生的独特现象和物质.典型的等离子的组成是，电子,离子,自由基和质子.就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量.一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子,离子和自由粒子)混合组成.离子体能够导电，和电磁力起反应.
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理.辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度,材料类型等因素有关.
等离子体有一些显著的特征：
1) 气体产生辉光现象，常称为"辉光放电".由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响.
2)气体中包含中性粒子,离子和电子.由于中性粒子和离子温度介于102-103K，电子能量对应的温度高达105K，它们被称为"非平衡等离子体"或"冷等离子体".但是它们却表现出电中性(准中性).
3) 气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应.等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键;但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能
等离子体可以通过直流或高频交流电场产生.当采用交流时，只能选用电信规定的科研及工业用频段(中频(MF)40KHz,高频(HF)13.56MHz,微波频率(MW)2.45GHz)，否则会干扰无线电通信.

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zxs374823

等离子体是气体分子在真空,放电等特殊场合下产生的独特现象和物质.典型的等离子的组成是，电子,离子,自由基和质子.就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量.一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子,离子和自由粒子)混合组成.离子体能够导电，和电磁力起反应.
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理.辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度,材料类型等因素有关.
等离子体有一些显著的特征：
1) 气体产生辉光现象，常称为"辉光放电".由于是真空紫外光，其对蚀刻率有十分积极的影响.
2)气体中包含中性粒子,离子和电子.由于中性粒子和离子温度介于102-103K，电子能量对应的温度高达105K，它们被称为"非平衡等离子体"或"冷等离子体".但是它们却表现出电中性(准中性).
3) 气体所产生的自由基和离子活性很高，其能量足以破坏几乎所有的化学键，在任何暴露的表面引起化学反应.等离子体中粒子的能量一般约为几个至几十电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，完全可以破裂有机大分子的化学键而形成新键;但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能
等离子体可以通过直流或高频交流电场产生.当采用交流时，只能选用电信规定的科研及工业用频段(中频(MF)40KHz,高频(HF)13.56MHz,微波频率(MW)2.45GHz)，否则会干扰无线电通信.

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偏执的青春

等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。典型的等离子的组成是，电子、离子、自由基和质子。就好象把固体转变成气体需要能量一样，产生离子体也需要能量。一定量的离子体是由带电粒子和中性粒子(包括原子、离子和自由粒子)混合组成。离子体能够导电，和电磁力起反应。
等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长，受电场作用，它们发生碰撞而形成等离子体，这时会发出辉光，故称为辉光放电处理。辉光放电时的气压大小对材料处理效果有很大影响，另外与放电功率，气体成分及流动速度、材料类型等因素有关。

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